“차세대 반도체 공정에 적용”..UNIST, 미세 패턴 제어기술 개발

https://news.v.daum.net/v/20200623120222498

울산과학기술원 연구진이 차세대 반도체를 더 빠르고 저렴하게 만드는 공정을 개발했다. 김소연 에너지 및 화학공학부 교수팀은 나노 모자이크 코팅을 이용해 블록 공중합체의 복잡한 패턴을 제어할 수 있는 기술을 개발했다고 23일 밝혔다. 현재 기술로는 공정 비용이 많이 들고 각종 화학약품을 사용하는 문제도 있다. 이를 해결할수 있는 블록 공중합체는 박막 상에서 자기조립을 통해 스스로 주기적인 나노 패턴을 형성한다. 이 성질을 이용하면 초미세 패턴도 만들 수 있다. 고분자 용액을 물 표면에 몇 방울 떨어뜨리면 조밀한 점무늬인 나노 모자이크가 만들어지는데 이렇게 형성된 나노 모자이크 위에 블록 공중합체를 올려 원하는 형태의 나노 패턴을 얻는 방식이다. 김소연 교수는 나노 모자이크 코팅은 기존 고분자 박막 계면 조절 방식보다 훨씬 간단해 대면적으로 산업화가 용이하며, 앞으로 다양한 시스템의 계면 조절에 응용할 수 있을 것 이라고 기대했다.

우리나라 반도체 산업이 현제 최 정상을 지키고 있지만 앞으로도 1등에 자리를 지킬수 잇을것 같다라는 확신이 들었다

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